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微米X射线三维成像系统
品牌： 型号： 未知
设备类型：
光学仪器及设备,
光学显微镜及成像系统,
图像成像及分析系统
最大电压:160KV；
最大靶功率:10W；
三维分辨率:3um；
最大三维检测尺寸:100*110mm；
探测头倾斜角度:±145°
缺陷分析（5-20um）
逆向工程（10-80um）
设备共享
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